氦质谱检漏仪 发布时间：2024-11-29
一、 设备型号
氦质谱检漏仪（HESZK AT600）
设备采用德国普发复合型分子泵 SplitFlow80、德国莱宝真空计 TTR 91N、德国宝蒂电磁阀、美国纽曼蒂克电磁阀、鲍斯机械泵等部件，标准漏孔。
二、应用领域
氦质谱泄漏检测仪在气体泄漏检测中有许多应用领域，如管道和设备泄漏检测、有害气体排放风险检测、空气污染源检测、燃料管道火灾隐患检测、空腔封装电子元器件密封性检测等。
三、设备主要技术指标
1. 最小可检漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s
2. 最小可检漏率（吸枪模式）：1×10-7 Pa·m3 /s
3. 检漏口压力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa
4. 粗抽能力：14.5m3 /h+77.5m3 /h（二级扩展）
5. 氦气抽速（Gross模式）：8 l/s
6. 氦气抽速（Fine模式）：7 l/s
7. 氦气抽速（Ultra模式）：2.5 l/s
8. 检漏口规格：DN 25 ISO-KF
9. 启动时间： ≤170s
10. 接口：RS-232/485 USB
11. 输入/输出接口：Digital I/O,Relays
四、设备检测目的
氦质谱检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。
五、测试标准
JEDEC JESD22-A109B
六、测试参数
气密性：Pa·m3/s、atm.cc/s、mbar·L/s
七、适用样品和大小尺寸
器件检测适用于大小不超过（直径80mm*高40mm）需要做氦气检漏的空腔（实体中有一部分是空的）样品 。
模组检测适用于大小不超过（直径500mm*高200mm）需要做氦气检漏的空腔（实体中有一部分是空的）样品 。
八、试验案例
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