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材料分析
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X射线能谱仪(EDS)发布时间:2014-07-16 14:49:52

1. 设备型号

Horiba 7021-H



2. 原理

EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、line scan、mapping分析。


3. 分析数据注意点

主要用于元素的定性分析;

能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;

EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对指定的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个指定面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值;

EDS做微区分析时所激发的体积为10um3 左右;

EDS常常与SEM结合使用,可对目标部位进行点、线、面形貌扫描和成分分析;

检测极限:0.1%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般为1~5微米。


4. 应用领域及分析案例

(1)灯珠来料元素检测

元素检测


(2)芯片结构分析

芯片结构分析


(3)支架结构分析

支架结构分析


(4)锂电池材料元素分布

锂电池材料元素分布

锂电池材料元素分布


(5)其他方面应用

其他


EDS能谱仪,物质元素分析,成分分析,定性定量测试,元素测试,SEM/EDS扫描电镜,能谱分析,EDS能谱点线面mapping。





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