TEM制样离子减薄仪（PIPS） 发布时间：2022-05-13 08:55:28
TEM制样离子减薄仪（PIPS）
应用领域：
离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器，主要用于陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（TEM）样品的制备。离子减薄仪有着较快的制样速度，可以以最小的耗费制备高质量的TEM样品，该仪器配备低能量离子枪和液氮冷台，对能量敏感性和温度敏感性样品的减薄特别适合。
原理：
氩气的电离采用高压来进行，在电场是作用下，电离后的氩离子对样品表面进行轰击。在氩离子的持续轰击下，样品慢慢减薄，一直到使透射电镜观察要求满足，此即为离子减薄仪的工作原理。氩离子抛光仪和离子减薄仪有着相同的原理，也是通过氩离子对样品表面进行轰击，使得样品表面变得平整光滑，因此该仪器大体上不需要太多的改变。
离子减薄仪具备样品切割和抛光两项功能：该设备配温控液氮冷却台，去除热效应对样品的损伤，有助于避免抛光过程中产生的热量而导致的样品融化或者结构变化；同时配备配碳/备镀膜，对于同一个样品，可在同一真空环境下完成抛光及镀膜，防止样品氧化，可以用于SEM/FIB导电镀膜样品的制作。
技术优势：
1.两支独立可调电磁聚焦离子枪；
2.同时具备高能量（快速抛光）和低能量（精细修复）；
3.超宽加速电压范围：100eV - 10kV，不同加速电压下，离子束束斑均保持理想束斑状态;
4.每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测；
5.采用可调节10英寸触屏控制系统，人机界面友好，操作简洁；
6.减薄角度范围：-15°到 +10°连续可调；
7.样品载台X-Y可调，可根据需要调整样品减薄位置；
8.具备原位实时观察及记录减薄过程功能；
9.样品可360°连续旋转或摇摆，离子束自动避让样品夹；
10.可选液氮冷台配置，去除热效应对样品的损伤；
11.可选真空或惰性气体转移装置，隔绝样品与水氧接触。
样品要求：
离子减薄仪为专门为透射样品的制备而设计的仪器制备，样品要求为厚度为三十微米，直径为三毫米的薄片。为使设备工作条件得到满足，需要预处理样品，首先将样品切割成一毫米厚的薄片，再从粗到细选择砂纸对样品表面进行打磨。
透射电镜所需样品具有非常小的尺寸，需要在载片中间的小孔上粘样品。扫描电镜观察的样品尺寸要远远大于透射样品。为了使效率提高，样品一次能够多放几个，在样品台上用热熔胶固定，然后对电压、氩离子流，样品倾角、抛光时间等工作参数进行调整。工作电压和氩离子流的增加能够使抛光效率有所提高，若这两个参数过高，容易损伤样品。
案例分析：
减薄样品在TEM中观察效果：
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