氟油检漏仪 发布时间:2023-05-12 11:42:35
一、设备型号
氟油检漏仪(HF-44 自动型)
二、应用领域
适用于分立电子器件、半导体器件和具有内腔的微电路封装等元件的粗检漏。
三、设备主要技术指标
(1)真空度 :≤ 50Pa;
(2)保压时间:1-16h ,可调;
(3)充氦压力: 0.2-1.0Mpa , 可调;
(4)重氟油加热温度:(可自动恒温): 125 ℃±5 ℃。
四、设备检测目的
AEC氟油检漏测试是用来对产品进行密封性检测,将待测试产品首先放入轻氟油中进行加压,如果产品有漏气,轻氟油会从漏点进入产品内部,然后再将产品放入加热后的重氟油中,如果存在漏点,轻氟油气化后则会从漏点形成气泡冒出,从而判断产品是否漏气。
五、测试标准
该设备可由 PLC 自动控制,与氦质谱检漏仪配合,能够完成 JEDEC JESD22-A109B、GJB360A-96标准中规定的对电子与半导体器件的检漏要求。
六、测试参数
被检器件压氟油,通过观测气泡判断器件有无泄漏。
七、适用样品和大小尺寸
尺寸不大于80mm*80mm*60mm需要做氟油检漏的空腔(实体中有一部分是空的)器件。
八、试验案例
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