轻松理解扫描电镜的工作原理 发布时间：2024-07-30 12:51:11
扫描电子显微镜（SEM）是一种利用电子束与样品相互作用产生的信号来观察样品表面形貌和成分的高分辨率显微镜。以下是对SEM工作原理的重新描述：
电子发射机制
电子是基本粒子之一，具有极小的电荷和质量。在SEM中，电子的发射主要依赖于发射源，如钨（W）灯丝或碳化硼（CeB6）灯丝。这些灯丝通过热激发的方式释放电子。热激发过程中，电子获得足够的能量以克服材料的逸出功，从而从灯丝表面逸出。钨灯丝的逸出功较高，需要更高的工作温度（约2800K），而CeB6灯丝的逸出功较低，仅需1800K即可工作。这不仅降低了工作温度，还减少了色差，提高了亮度和使用寿命。
电子束控制
在SEM中，电子束通过电场和磁场的精确控制，实现加速和偏转。物镜利用磁场聚焦电子束，而扫描单元则通过电磁线圈产生的磁场来偏转电子束，从而在样品表面形成扫描。
电子与样品相互作用
当电子束与样品接触时，会引发多种电子信号的产生，主要包括：
1.背散射电子（BSE）：这些电子在样品内部较深的位置被激发，能反映样品的成分和晶体结构。其激发深度约为1-2微米。
2.二次电子（SE）：这些电子在样品表面被激发，主要提供表面形貌信息。其激发深度一般小于10纳米。
成像
1.二次电子成像（SED）：通过捕捉二次电子信号，可以生成样品表面的形貌图像。这种方法特别适用于观察样品的表面细节。
二次电子图像
2.背散射电子成像（BSD）：通过分析背散射电子信号，可以揭示样品的成分差异。原子序数较大的物质在BSD图像中会显得更亮。
背散射电子
高性能灯丝应用
采用低逸出功的单晶CeB6灯丝，可以在较低温度下实现电子的高效发射。这种方法不仅降低了色差，提升了亮度，还延长了灯丝的使用寿命。通过精确的电场和磁场控制，SEM能够提供高质量的BSD和SED图像，从而为材料科学和纳米技术等领域的研究提供重要支持。为了方便大家对材料进行深入的失效分析及研究，金鉴实验室具备Dual Beam FIB-SEM业务，包括透射电镜( TEM)样品制备，材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像及分析等。
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